Fedor
/
Nederlandse-Bibliografie-Totaal-NBT
/
Login
Register
Netwerk Digitaal Erfgoed
Nederlandse Bibliografie Totaal (NBT)
Browser
Triples
Insights
Schema
BETA
Class frequency
Class hierarchy
SPARQL
Graphs
1
Services
2
65695965
65695965
http://www.worldcat.org/oclc/65695965
Plasma chemistry of fluorocarbon RF discharges used for dry etching / Marco Haverlag
sameAs
65695965
http://www.worldcat.org/oclc/65695965