Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF6/GeH4 / Cornelius Alexander van der Jeugd
mainEntity
Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF6/GeH4 / Cornelius Alexander van der Jeugd
author
description
Auteursnaam op omslag: Kees van der Jeugd
Proefschrift Technische Universiteit Delft
inLanguage
mainEntityOfPage
name
Chemical vapour deposition of tungsten from WF6/SiH4 and WF6/GeH4
numberOfPages
publication
sameAs
label
Chemical vapour deposition of ...... nelius Alexander van der Jeugd